中科院上海光学精密机械所.高效氢气纯化器提升多晶硅产业核心竞争力[J].中国科学院院刊,2016,31(Z1):68.

高效氢气纯化器提升多晶硅产业核心竞争力

中科院上海光学精密机械所

        电子级多晶硅是半导体、电子、信息产业最基础的材料,在信息技术领域(通信设备、电脑网络等)、现代工业领域(交通运输、能源工业等)、日常生活领域(移动通讯、家用电器等)、军事领域、航空航天等领域有广泛的应用。