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.三束共焦荧光实时监控聚焦离子束精准减薄系统[J].中国科学院院刊,2024,39(Z1):131.

三束共焦荧光实时监控聚焦离子束精准减薄系统

Electron-light-ion Trifocal Microscope

DOI10.16418/j.issn.1000-3045.2024Z104127

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