中国科学院院刊-国家科学思想库核心媒体

.掠角入射沉积电子束蒸发设备[J].中国科学院院刊,2021,36(Z1):78.

掠角入射沉积电子束蒸发设备

Glancing Angle Deposition (GLAD) E-beam Evaporator

作者简介

微信关注公众号