吕琼莹.微电子机械前沿[J].中国科学院院刊,1997,(4):264-268.

微电子机械前沿

吕琼莹
长春光学精密机械研究所!长春130022

         微机械;纳米技术

        本文从微机械学科的形成及应用两个方面，探讨了微机械与各相关学科之间的内在联系。从对该学科自身发展规律的认识和对以往研究经验的反思出发，分析了若干典型微机械技术的前沿研究与潜在应用，并评述了国内外微机械研究的主流和发展趋势；探讨了我国发展微机械学科的合理模式和运作规律。本文从宏观的角度为微机械学科与其它学科的交叉和融合寻找切入点，以期达到运用多学科知识解决同一问题的愿望。