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邹世昌,杨根庆.离子束材料合成及表面改性技术的发展[J].中国科学院院刊,1992,(3):201-206.

离子束材料合成及表面改性技术的发展

作者

邹世昌
上海冶金研究所

杨根庆
上海冶金研究所

中文关键词

离子束增强沉积技术;离子注;材料合成;表面改性技术;材料表面;离子团簇;千电子伏特;低能离子束;埋层;微束

中文摘要

本文摘要地介绍了离子束材料合成及表面改性技术及其在新材料与高新技术发展中所起的作用,对离子束技术的发展前沿及应用前景进行了讨论。

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