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王守武.微电子技术的发展和我们的对策[J].中国科学院院刊,1990,(4):310-312.

微电子技术的发展和我们的对策

作者

王守武
中国科学院微电子中心研究员、学部委员

中文关键词

微电子技术;微小型化;专用设备;元器件;二维电子气;自力;量子线;电子波;支撑环境;细微加工

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