先进光学超精密制造技术现状、问题与建议

Present situation, problems and suggestions of advanced optical ultra-precision manufacturing technology

        张鑫¹(季华实验室(先进制造科学与技术广东省实验室) 佛山 528200)
        海阔^2*(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 成都 610200)
        李资政³(中山大学 物理与天文学院 珠海 519082)
        张瀛怀¹(季华实验室(先进制造科学与技术广东省实验室) 佛山 528200)
        张斌智¹(季华实验室(先进制造科学与技术广东省实验室) 佛山 528200)
        张云飞²(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 成都 610200)
        臧仲明²(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 成都 610200)
        曾鹏²(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 成都 610200)
        吴明涛²(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 成都 610200)
        李凯隆²(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 成都 610200)
        闫力松⁴(华中科技大学 光学与电子信息学院 武汉 430074)
        陈太喜¹(季华实验室(先进制造科学与技术广东省实验室) 佛山 528200)
        钱宜刚⁵(中天科技有限公司 南通 226009)
        焦宏飞⁶(同济大学 物理科学与工程学院 上海 200092)

         光学元件;超精密制造;复杂曲面;全频段

        optical elements;ultra-precision manufacturing;complex surface;full frequency band

        随着激光核聚变、空间对地观测、深空探测、极紫外光刻等关键领域的不断发展，对高面形精度、高表面质量光学元件需求的不断增加，先进光学超精密制造技术已成为国家高端制造领域的核心支柱。文章围绕光学元件的材料制备技术、超精密成形、抛光、检测及表面处理技术等方面，阐述了国内先进光学超精密制造技术的研究现状，分析了国内该领域存在的问题及应对措施，对先进光学超精密制造技术的下一个新阶段进行了展望，希望能引发该领域研究的一些思考。

        With the continuous development of key fields such as laser nuclear fusion, space-to-earth observation, deep space exploration, and extreme ultraviolet lithography, the demand for optical components with high surface shape accuracy and high surface quality is increasing. Advanced optical ultra-precision manufacturing technology has become the core pillar of the national high-end manufacturing field. In this paper, the research status of advanced optical ultra-precision manufacturing technology in China is described with the focus on material preparation technology of optical components, ultra-precision forming, polishing, testing and surface treatment technology of components. The existing problems and countermeasures in this field in China are analyzed. Finally, the new stage of advanced optical ultra-precision manufacturing technology is prospected, hoping to lead to some thinking in this field.