期刊检索    
高能脉冲磁控溅射镀膜机

High Power Impulse Magnetron Sputtering Coating Machine
DOI10.16418/j.issn.1000-3045.2023Z104045
作者简介
1996-2009 中国科学院版本所有 备案序号：京ICP备05002857
地址：北京三里河路52号 邮编：100864 Email:yuankan@cashq.ac.cn
技术支持：北京勤云科技发展有限公司
微信关注公众号